自動(dòng)化測(cè)試系統(tǒng)
200mm 自動(dòng)探針臺(tái)通過(guò)軟件定義硬件的方式，基于圖像識(shí)別自動(dòng)進(jìn)行 XYZ 修正，消除累計(jì)誤差可以配置為客戶(hù)所需要的一個(gè)探針臺(tái)類(lèi)型，提供海量的儀表接口和應(yīng)用,與儀表集成的晶圓測(cè)試變得簡(jiǎn)單通過(guò)精準(zhǔn)的移動(dòng)和屏蔽實(shí)現(xiàn)精密 直流，射頻和硅光數(shù)據(jù)的采集。
