功率器件測(cè)試系統(tǒng) | |||
No. | Model | Description | QTY. |
1. | 探針臺(tái) | 1.1. 6英寸/8英寸/12英寸探針臺(tái)體 1.2. 卡盤X/Y軸平面無間隙氣浮快速移動(dòng)，移動(dòng)速率可調(diào)，單手控制，快速移動(dòng)行程：8英寸X8英寸，任意位置自動(dòng)鎖止，同時(shí)X/Y軸平面無間隙微調(diào)移動(dòng)行程：8英寸X8英寸，精度：1um 1.3. 卡盤Z軸無間隙升降移動(dòng)，行程：0~10mm，微調(diào)精度：1um 1.4. 探針平臺(tái)快速升降行程 0/0.3/3.0mm并帶自動(dòng)鎖定功能 1.5. 探針平臺(tái)微調(diào)升降行程 ±25mm，微調(diào)精度：1um，升降高度可顯示 1.6. 顯微鏡底座在 X-Y軸平面內(nèi)微調(diào)移動(dòng)，行程：2英寸X2英寸，精度1微米 1.7. 顯微鏡Z軸氣浮快速升降，行程0~50mm，升降速率可調(diào) 1.8. 高分辨顯微觀察系統(tǒng)，光學(xué)分辨率0.5um，配合2000萬像素高清工業(yè)相機(jī)和液晶顯示器，帶拍照、錄像和尺寸測(cè)量軟件 1.9. 直流、脈沖、高壓、大電流、高頻探針均可配置。 | 1 |
2. | 高溫卡盤 | 2.1. 6英寸/8英寸/12英寸高溫卡盤，同軸結(jié)構(gòu)，背柵電極測(cè)試，可兼容Banana、BNC、SHV、TRIAX、HV TRIAX等測(cè)試接口 2.2. 溫度范圍：RT室溫 ~ +400℃ 2.3. 溫度分辨率 ： 0.1℃ 2.4. 溫度穩(wěn)定性： ±0.1℃ 2.5. 控溫方式 ：PID溫控器，比例微積分算法 | 1 |
3． | 高壓IV/CV儀表 | 3.1. 電壓范圍：±1500V，±3000V，±5000V，±10KV 3.2. 電流范圍：±500A，±1500A 3.3. 電壓最小分辨率：200 μV 3.4. 電流最小分辨率：10 fA 3.5. 多頻電容測(cè)量范圍：1 kHz to 5 MHz
| 1 |
5． | 測(cè)試軟件 | 5.1. 人機(jī)交互界面多功能軟件； 5.2. 具備數(shù)據(jù)圖形化分析功能，具備輸出通道、測(cè)試通道、輸出類型、掃描模式、電壓/電流參數(shù)、掃描步長(zhǎng)、輸出延遲、循環(huán)次數(shù)、接線方式設(shè)置功能； 5.3. 可實(shí)時(shí)測(cè)得IV曲線、VI曲線、IT曲線、VT曲線實(shí)時(shí)曲線； 5.4．濾波設(shè)置，對(duì)測(cè)量值取平均； 5.5. 手動(dòng)設(shè)置輸出和測(cè)量的量程范圍，也可設(shè)置自動(dòng)量程； 5.6. 設(shè)置測(cè)量積分時(shí)間，控制測(cè)量速率和精確度 5.7. 通訊接口支持GPIB、RS-232、USB、LAN； | 1 |
功率器件測(cè)試系統(tǒng) | |||
No. | Model | Description | QTY. |
1. | 探針臺(tái) | 1.1. 6英寸/8英寸/12英寸探針臺(tái)體 1.2. 卡盤X/Y軸平面無間隙氣浮快速移動(dòng)，移動(dòng)速率可調(diào)，單手控制，快速移動(dòng)行程：8英寸X8英寸，任意位置自動(dòng)鎖止，同時(shí)X/Y軸平面無間隙微調(diào)移動(dòng)行程：8英寸X8英寸，精度：1um 1.3. 卡盤Z軸無間隙升降移動(dòng)，行程：0~10mm，微調(diào)精度：1um 1.4. 探針平臺(tái)快速升降行程 0/0.3/3.0mm并帶自動(dòng)鎖定功能 1.5. 探針平臺(tái)微調(diào)升降行程 ±25mm，微調(diào)精度：1um，升降高度可顯示 1.6. 顯微鏡底座在 X-Y軸平面內(nèi)微調(diào)移動(dòng)，行程：2英寸X2英寸，精度1微米 1.7. 顯微鏡Z軸氣浮快速升降，行程0~50mm，升降速率可調(diào) 1.8. 高分辨顯微觀察系統(tǒng)，光學(xué)分辨率0.5um，配合2000萬像素高清工業(yè)相機(jī)和液晶顯示器，帶拍照、錄像和尺寸測(cè)量軟件 1.9. 直流、脈沖、高壓、大電流、高頻探針均可配置。 | 1 |
2. | 高溫卡盤 | 2.1. 6英寸/8英寸/12英寸高溫卡盤，同軸結(jié)構(gòu)，背柵電極測(cè)試，可兼容Banana、BNC、SHV、TRIAX、HV TRIAX等測(cè)試接口 2.2. 溫度范圍：RT室溫 ~ +400℃ 2.3. 溫度分辨率 ： 0.1℃ 2.4. 溫度穩(wěn)定性： ±0.1℃ 2.5. 控溫方式 ：PID溫控器，比例微積分算法 | 1 |
3． | 高壓IV/CV儀表 | 3.1. 電壓范圍：±1500V，±3000V，±5000V，±10KV 3.2. 電流范圍：±500A，±1500A 3.3. 電壓最小分辨率：200 μV 3.4. 電流最小分辨率：10 fA 3.5. 多頻電容測(cè)量范圍：1 kHz to 5 MHz
| 1 |
5． | 測(cè)試軟件 | 5.1. 人機(jī)交互界面多功能軟件； 5.2. 具備數(shù)據(jù)圖形化分析功能，具備輸出通道、測(cè)試通道、輸出類型、掃描模式、電壓/電流參數(shù)、掃描步長(zhǎng)、輸出延遲、循環(huán)次數(shù)、接線方式設(shè)置功能； 5.3. 可實(shí)時(shí)測(cè)得IV曲線、VI曲線、IT曲線、VT曲線實(shí)時(shí)曲線； 5.4．濾波設(shè)置，對(duì)測(cè)量值取平均； 5.5. 手動(dòng)設(shè)置輸出和測(cè)量的量程范圍，也可設(shè)置自動(dòng)量程； 5.6. 設(shè)置測(cè)量積分時(shí)間，控制測(cè)量速率和精確度 5.7. 通訊接口支持GPIB、RS-232、USB、LAN； | 1 |