閉循環(huán)低溫探針臺
總體規(guī)格特點:
重量：200kg
尺寸：800mm長x800mm寬600mm高（含顯微鏡）
總功耗：8KW（其中壓縮機功耗約7KW，其余約1KW）
總體規(guī)格特點:
重量：200kg
尺寸：800mm長x800mm寬600mm高（含顯微鏡）
總功耗：8KW（其中壓縮機功耗約7KW，其余約1KW）
結構說明：
真空腔體：
密閉真空倉，體積25L，極限耐壓真空度可以達到1×10-10mbar，結合排氣過濾器，避免污染客戶的工作環(huán)境。頂部設計為易于打開的倉體門，便于取放被測器件。頂部為高透光紅外隔熱熔融石英視窗，用于顯微鏡進行觀察。內(nèi)部配置2英寸同軸接地合金樣品座和4英寸樣品座電磁屏蔽保護層，與樣品座等電勢位，電流泄漏最低10fA。
P1. 腔體內(nèi)部圖
溫控模塊：
采用高性能的26C四通道精密溫度控制器、溫度傳感器及加熱器，閉循環(huán)制冷溫控范圍4K ~ 400K / 10K ~400K。對低于室溫的溫度設置點，由低溫制冷機來實現(xiàn)降溫；當需要升溫時采用溫控儀的加熱器功能，控制器將實現(xiàn)溫度的平穩(wěn)控制，溫控精度為1mK（0.001℃）， 溫控穩(wěn)定度10mK（0.01℃），溫度測量誤差小于20ppm/℃。
熱管理模塊/熱沉處理：
溫度傳感器分別安裝在樣品臺、探針臂和防熱輻射屏上，提供一個準確的控溫環(huán)境。探針臂、探針、防輻射層和樣品座之間做熱沉處理，實現(xiàn)各者之間的溫度同步控制。同時探針做熱補償，防止變溫實驗時探針產(chǎn)生位移離開樣品接觸點。
閉循環(huán)制冷模塊：
閉循環(huán)制冷采用高效G-M循環(huán)和二級回熱制冷機、高功率壓縮機組成，制冷機的作用是產(chǎn)生連續(xù)閉合的制冷循環(huán)，壓縮機的作用是提供高壓氦氣。G-M制冷機提供探針臺所需要的冷源，這種制冷方式的優(yōu)點是只需要電能，使用不受冷媒限制不消耗冷媒。這種制冷方式的低溫探針臺使用4K或者10K閉循環(huán)制冷機，相對應的樣品臺溫度最低低于4K和10K。制冷機的一級制冷平臺冷卻輻射屏以及支撐連接部分，二級制冷平臺冷卻樣品臺和探針。
P2. 兩級G-M循環(huán)型制冷機
探針控制模塊：
真空倉外接最多六個剛性結構真空波紋管臂，每個管臂均可在XYZ三維線性方向和?水平夾角進行微調(diào)，實現(xiàn)對真空倉內(nèi)部探針的定位調(diào)節(jié)。管臂采用線性軌道和四維微分頭結構，XYZ三維線性調(diào)節(jié)范圍為50mmx25mmx25mm，調(diào)節(jié)精度1微米，?水平夾角可調(diào)節(jié)范圍±5°，角度精度0.01°。每個真空波紋管臂提供2個真空電學接口，適用于DC/Pulse/RF測試。
顯微鏡模塊：
采用視頻顯微鏡，萬向調(diào)節(jié)展臂，可X-Y-Z任意方向移動，配合高清工業(yè)相機和液晶監(jiān)視器，實現(xiàn)um級別的觀察分辨率。
隔震模塊：
與測試平臺一體式氣墊隔震支架系統(tǒng)，承重：300KG，真空隔震垂直頻率優(yōu)于1 Hz，水平頻率優(yōu)于2 Hz，隔震效果優(yōu)于0.5微米